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考慮溫度影響的砷化鎵光子晶體壓力傳感器的設計與研究
夏雨; 陳德媛; 陳兵; 張巖; 李夢凡 南京郵電大學電子與光學工程學院; 微電子學院; 南京210023
關鍵詞：光子晶體 溫度干擾 雙通道濾波器 壓力探測 溫度探測
摘要：提出了一種由雙通道濾波器構成的砷化鎵光子晶體壓力傳感器,利用波導與腔耦合實現窄帶濾波,雙通道分別實現壓力探測和溫度探測的功能。以室溫25℃、0壓力的情況作為參考,在溫度為-25~45℃、壓力為0~2GPa的范圍內,根據濾波器的濾波波長分別與溫度和壓力之間的線性變化關系,探測溫度和壓力。同時還分析并比較了極端溫度情況下濾波波長的變化,確定溫度變化對壓力測量造成的影響,在較惡劣的情況下溫度變化不可忽略。分析得出未考慮溫度響應的壓力靈敏度約為16.6nm/GPa,消除溫度響應后壓力靈敏度約為15.9nm/GPa,品質因子高達5696。
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