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U型電熱微驅動器溫度分布方程模型
趙海龍; 王新杰 南京理工大學機械工程學院; 江蘇南京210094
關鍵詞：mems 微驅動器 u型梁 溫度分布方程
摘要：針對MEMS驅動器提出了一種基于焦耳熱效應的多晶硅材料電熱驅動方式。根據電熱微驅動器的結構特性,建立了用于計算其溫度的簡化模型;利用傅里葉定律和能量守恒方程導出的導熱方程建立并求解得到熱臂、冷臂和柔性區上的溫度分布方程。最后用ANSYS Multiphysics軟件對驅動器進行熱-電場耦合分析,結果表明驅動器上溫度理論值與仿真結果保持一致,該溫度分布方程可用于優化電熱微驅動器設計并計算其熱膨脹量、驅動位移及力矩。
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