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硅微諧振式壓力傳感器閉環(huán)頻率跟蹤電路
許高斌; 徐枝蕃; 胡海霖; 陳興; 馬淵明 合肥工業(yè)大學(xué)電子科學(xué)與應(yīng)用物理學(xué)院; 安徽省MEMS工程技術(shù)研究中心; 安徽合肥230009
關(guān)鍵詞：諧振式壓力傳感器 頻率跟蹤電路 鎖相環(huán) 無(wú)相差
摘要：
儀表技術(shù)與傳感器雜志要求:
{1}多位作者的署名之間用逗號(hào)隔開(kāi)；不同單位的作者，應(yīng)在姓名右上角加注不同的阿拉伯?dāng)?shù)字序號(hào)，并在其單位名之前加注相應(yīng)的數(shù)字；作者單位之間連排時(shí)以分號(hào)隔開(kāi)。
{2}對(duì)所投稿件，本刊有權(quán)根據(jù)本刊辦刊要求對(duì)其進(jìn)行適當(dāng)刪改或調(diào)整，作者如不愿被改動(dòng)，來(lái)稿時(shí)請(qǐng)注明。
{3}文中標(biāo)題層次用阿拉伯?dāng)?shù)字連續(xù)編號(hào)，例如：1…，2…，2.1…，2.1.1…，一律左頂格。一、二級(jí)標(biāo)題后的正文另起，縮進(jìn)2字。三級(jí)標(biāo)題后空1字接正文。
{4}參考文獻(xiàn)：按照中文參考文獻(xiàn)在前，日文參考文獻(xiàn)次之，西文參考文獻(xiàn)居后的順序排列。各語(yǔ)種參考文獻(xiàn)以作者姓名讀音為序。
{5}摘要中如采用非標(biāo)準(zhǔn)的術(shù)語(yǔ)、縮寫(xiě)詞和符號(hào)等，均應(yīng)在首次出現(xiàn)時(shí)予以說(shuō)明。
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