購物車(0)
光柵精密位移測量技術發展綜述
高旭; 李舒航; 馬慶林; 陳偉 長春理工大學光電工程學院; 吉林長春130022; 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所; 吉林長春130033
關鍵詞：位移測量 光柵 高精度測量 衍射干涉
摘要：精密測量是精密機械加工的基礎,是制造行業中影響制造精度的決定性因素之一,在當代精密機械制造領域應用廣泛。基于光柵的精密位移測量系統以其對環境要求小,測量分辨率高等優點,在精密位移測量領域占據重要位置。基于光柵的精密位移測量系統包括光學測量系統、信號接收、電子學細分及整體裝調幾部分。本文主要針對光學測量光路部分進行綜述介紹。首先介紹了經典光柵干涉位移測量原理;其次,綜述了基于光柵的精密位移測量系統的關鍵技術現狀;再次,對比分析了幾種最具有代表性的測量技術,總結其優缺點;最后,對基于光柵的精密位移測量技術進行展望,揭示其高精度、高分辨力、高魯棒性、微型化、多維化、多技術融合的發展趨勢。
中國光學雜志要求:
{1}參考文獻：采用順序編碼制，按照正文中出現次序列于文后。以參考文獻：(左頂格)作為標識；序號（左頂格）用阿拉伯數字加方括號標示；每一條目的最后均以實心點結束。
{2}論文章請提供內容提要和關鍵詞。內容提要請提供中英文版本，要求體現作者的主要觀點，行文流暢、簡潔、客觀、規范。
{3}數據與表格:文中有計量意義的數據均應使用阿拉伯數字，數據核對應準確無誤，需要時應進行統計學處理，統計學符號均用斜體。
{4}注釋與引文參考文獻統一編號混排于當頁頁腳下。
{5}請確保文章符合研究倫理，注意保護研究參與者和其他利益相關人的隱私與權利。
注：因版權方要求，不能公開全文，如需全文，請咨詢雜志社
